SPS制备难熔钼及钼钽溅射靶材的组织和性能

刘大伟 张久兴 黄蕾 潘亚飞

硬质合金 ›› 2022, Vol. 39 ›› Issue (1) : 12-20.
材料科学与工程

SPS制备难熔钼及钼钽溅射靶材的组织和性能

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The Microstructure and Properties of Refractory Molybdenum and Molybdenum-Tantalum Sputtering Targets Fabricated by SPS

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