915MHz高功率MPCVD设备生长8-inch金刚石外延膜

杨国永 杨明阳 王博 王跃忠 鲁云祥 宋惠易 剑西村一 仁江南

硬质合金 ›› 2023, Vol. 40 ›› Issue (2) : 98-104.
材料科学与工程

915MHz高功率MPCVD设备生长8-inch金刚石外延膜

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Eight-Inch Diamond Epitaxial Films Grown by High-Power MPCVD Reactor of 915 MHz

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