CVD多层涂层TiN-Al2O3-TiCN 的应力表征

江嘉鹭 庄丽敏 王海燕 张晓丹 赵晓晓 林亮亮

硬质合金 ›› 2023, Vol. 40 ›› Issue (6) : 487-496.
检测与装备

CVD多层涂层TiN-Al2O3-TiCN 的应力表征

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Stress Characterization of CVD Multilayer Coating with TiN-Al2O3-TiCN

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