基于Fluent的ALD型压力烧结炉温度场的优化模拟

裴善领 宋波 鲁凯 郭宏海 范昆

硬质合金 ›› 2024, Vol. 41 ›› Issue (3) : 229-236.
检测与装备

基于Fluent的ALD型压力烧结炉温度场的优化模拟

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Optimization Simulation of Temperature Field in ALD Pressure Sintering Furnace Based on Fluent

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